Chinees bedrijf levert na Canon eerste nano-imprintmachines voor 'drukken' chips

In dit artikel:

Het Chinese Prinano Technology heeft zijn eerste nano‑imprintlithografiemachine (model PL‑SR) aan een klant geleverd, waarmee het na Canon de tweede fabrikant is die zo'n apparatuur uitrolt. De machine maakt gebruik van een kwarts‑mal die het nanocircuit als een stempel op 300mm‑wafers drukt; een inkjet brengt een dunne resistlaag aan die na het stempelen met UV‑licht wordt uitgehard. Wafers en mal worden volgens Prinano uitgelijnd tot circa 10 nm of beter, waarna lijnbreedtes onder de 10 nm mogelijk zouden zijn (Canon noemde in 2023 ongeveer 14 nm). Prinano richt zich op toepassingen zoals geheugenchips, siliciummicrodisplays, siliciumfotonica en geavanceerde packaging. Analyses wijzen echter op een belangrijke beperking: het PL‑SR‑systeem lijkt veel lagere throughput te hebben — tientallen wafers per uur versus circa 200 bij moderne EUV‑machines — en de productie‑yields zijn nog onduidelijk.