China bouwt 'kopie' van ASML-machine, maar hoeveel progressie is er?

In dit artikel:

In 2018 weigerde de Amerikaanse regering een ASML-bestelling van de Chinese chipfabrikant SMIC voor een EUV-lithografiemachine. Die handelsbeperkingen — later verder aangescherpt — zouden Beijing ertoe hebben gedreven om zelfstandig EUV-technologie na te bouwen. Reuters schrijft nu dat China, via een omvangrijk, staatsgefinancierd ontwikkelprogramma dat intern wordt vergeleken met een “Manhattan Project”, een werkend prototype van een EUV-machine zou hebben ontwikkeld in Shenzhen. Dat prototype zou na zes jaar van gerichte investeringen en geheime onderzoeksinspanningen voortkomen; commerciële EUV-chips uit China worden mogelijk tussen 2028 en 2030 verwacht.

Wie: de hoofdrolspelers zijn SMIC (China’s grootste foundry), ex-ASML-medewerkers die volgens bronnen betrokken zouden zijn bij reverse-engineering, en de Chinese staat onder president Xi Jinping, die streeft naar technologische onafhankelijkheid van westerse leveranciers. ASML, de Nederlandse maker van vrijwel alle commerciële EUV-machines, wordt gezien als de technische standaard waar China zonder hulp van buitenaf van wil afwijken. In de keten spelen gespecialiseerde toeleveranciers zoals Carl Zeiss een cruciale rol; hun lenzen en optische systemen zijn essentieel voor EUV-apparatuur.

Wat en waar: EUV (Extreme Ultraviolet) is de lithografietechniek die nodig is voor de meest geavanceerde chips. Tot nu toe gebruiken alleen bedrijven als TSMC (Taiwan), Samsung (Zuid-Korea) en Intel (VS/Europa) dergelijke machines voor volumeproductie. Reuters’ bronnen melden dat Chinese teams, deels bestaand uit recent gepensioneerde ex-ASML-ingenieurs, met valse identiteitskaarten en royale extra betalingen zouden hebben gewerkt aan het project in China.

Waarom: exportrestricties dwongen China alternatieven te zoeken. SMIC probeerde al het uiterste uit DUV-machines te halen en kwam daardoor dichtbij 7-nanometerprocessen, maar dat leverde geen echt concurrerend product op. De politieke ambitie is duidelijk: de hele chipproductieketen buiten westerse invloed brengen. Met enorme staatsmiddelen kan China problemen financieren die bij westerse startups of bedrijven jaren zouden kosten.

Uitdagingen en onzekerheden: experts vinden het plausibel dat China sneller kan lopen dan ASML vroeger deed, dankzij technische kennis afkomstig van ex-medewerkers en algemene wetenschappelijke vooruitgang. Toch zijn er grote technische barrières: het namaken van een complete toeleveringsketen (ultraprecieze optica, lichtbronnen, vacuümsystemen), de extreem hoge energiebehoefte van EUV, en jarenlange knowhow die ASML heeft opgebouwd. ASML zelf noemt een poging om een EUV-alternatief te bouwen “geen geringe prestatie” maar benadrukt impliciet de moeilijkheid. Tot nu toe zijn er volgens openbare bronnen nog geen massaproductie-chips uit China op basis van EUV verschenen.

Politieke implicaties: de ontwikkelingen verontrusten beleidsmakers in de VS die technologisch op afstand willen houden. Of en wanneer China volledig onafhankelijk EUV-waardige machines voor grootschalige productie heeft, blijft onduidelijk — maar de recente stappen tonen aan dat Beijing bereid is enorme middelen en menselijke expertise in te zetten om die onafhankelijkheid na te jagen.