ASML verwacht eerste High-NA EUV-chips binnen enkele maanden

In dit artikel:

Binnen enkele maanden zullen naar verwachting de eerste chips worden geproduceerd met ASML’s nieuwe High-NA EUV-lithografiemachines, zei ASML-ceo Christophe Fouquet tijdens ITF World van onderzoeksinstituut imec in België. De systemen, die per stuk tot circa 400 miljoen dollar kosten, moeten het mogelijk maken om kleinere en complexere circuits te maken en zo zowel logicaprocessen als geheugenproductie verder te verkleinen en versnellen.

Niet alle klanten zijn echter overtuigd: TSMC stelde enkele weken geleden dat de High-NA-machines te duur zijn en kiest er vooralsnog voor bestaande EUV-capaciteit maximaal te benutten bij twee recent gepresenteerde fabricageprocessen. Die keuze benadrukt TSMC’s nadruk op eigen R&D en staat haaks op het beleid van Intel, dat juist vroeg inzet op High-NA om een technologisch voordeel te behalen. Historisch gezien leverde TSMC’s vroege inzet van EUV de Taiwanese foundry eerder concurrentievoordeel op ten koste van Intel.

Ondertussen lopen andere spelers wel op ASML in: SK Hynix bouwde vorig jaar het eerste commerciële High-NA-systeem en sloot een deal van ongeveer 8 miljard dollar met ASML, en Intel meldt dat zijn eerste twee High-NA-machines al in productie zijn en zo’n 300.000 wafers hebben verwerkt. ASML stelt dat de nieuwe generatie uiteindelijk de productiekosten per geavanceerde chip moet verlagen, ondanks de hoge aanschafkosten.