ASML-spinout Invisix haalt 20 miljoen op om chips door röntgenmachine te halen

In dit artikel:

Invisix, een Eindhovense spin-off van ASML, heeft €20 miljoen opgehaald om een nieuw meetsysteem voor halfgeleiders te ontwikkelen dat gedetailleerde 3D-structuren zichtbaar maakt waar optische instrumenten tekortschieten. De seedronde werd geleid door onder meer Hitachi Ventures, imec.xpand, Transition Ventures en Doosan Investment; ook een anonieme tier‑1‑fabrikant stapte in. Eerder werd al genoemd dat Samsung de techniek mogelijk wil inzetten voor verbetering van de yields op zijn 2nm-proces, wat vooral belangrijk is voor rendabele productie van HBM-geheugen voor AI-chips.

Het probleem dat Invisix aanpakt is dat conventionele optische metrologie steeds minder in staat is om de steeds fijnere en complexere gelaagde structuren op moderne chips te controleren. Onzichtbare defecten blijken vaak pas nadat wafers zijn gesneden, met verlies van opbrengst tot gevolg. Invisix gebruikt 'zachte' röntgenstraling voortgebracht via high-harmonic generation: ultrakorte laserpulsen zetten edelgasatomen aan tot het uitzenden van zachte röntgenstralen. Die data worden gecombineerd met reconstructie-algoritmen en machine learning om een 3D-reconstructie van structuren te maken. De fundamentele fysica achter die techniek kreeg erkenning in de Nobelprijs Natuurkunde 2023.

Het bedrijf bouwt voort op meer dan tien jaar ontwikkelwerk bij ASML; CEO Christina Porter en CTO Sietse van der Post zijn beiden voormalige ASML‑fysici. In 2023 heeft Invisix de aanpak al gedemonstreerd samen met Intel en imec aan gate‑all‑around‑transistoren. Volgens vakmedia kan het systeem meerdere keren meer parameters meten dan gangbare optische scatterometrie, wat het bijzonder geschikt maakt voor de nieuwste 3D‑architecturen. Met het opgehaalde kapitaal wil Invisix het team uitbreiden, een eerste productiesysteem bouwen en klantdemonstraties opstarten vanuit een nieuwe cleanroom in Eindhoven om zo bij te dragen aan hogere yields in de chipindustrie.